3D共聚焦顯微鏡的工作原理

3D共聚焦顯微鏡是一種用于信息與系統(tǒng)科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，拍攝分辨率不低于700萬像素；Z軸行程：50 mm垂直分辨率：＜10nm 水平分辨率： 0.2μm。

　　共聚焦系統(tǒng)的光源為離子激光器或HeNe激光器，光源發(fā)出的激光束通過照明針孔后成為點光源P。點光源P通過分東器及如高數(shù)值孔徑顯微物鏡的成像系統(tǒng)成像后，在部分透明的被測樣品內(nèi)形成像點P。從像點P發(fā)出的散射光及反射光(波長為λ1)和其他熒光(波長λf>λ1),反方向經(jīng)過物鏡和分光鏡后，入射到單點探測器。單點探測器由探測器和放置在探測器前的針孔組成，3D共聚焦顯微鏡它可以減少探測器的有效面積。探測器一般使用的是光電倍增管或雪崩光電二極管，探測器接收到的電信號由計算機(jī)進(jìn)行處理。

　　①如果激光束聚焦點的直徑小于針孔的直徑,則P處的針孔可以去掉。

　　②有些材料能自發(fā)熒光,有些材料則需要用合適的染料上色。

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